Кралят на добива: В една фабрика „качеството“ (добивът) е безкрайно по-ценно от „скоростта“. Подобрение на добива с 0,1% на 300 мм пластина струва милиони. Софтуерът за обща ефективност на оборудването (OEE) трябва да дава приоритет на плътността на дефектите пред времето на цикъла.
Реалността на подфабриката: Самите инструменти за обработка (ецване, литотерапия) се поддържат от масивна „подфабрика“ от помпи, охладители и скрубери. Ако помпа за 20 000 долара се повреди, инструмент за 5 милиона долара спира работа. OEE трябва да следи тези спомагателни активи.
Интеграция с AMHS: Движението на пластините е автоматизирано (OHT/AGV). Софтуерът трябва да следи времето за „изчакване на материал“, причинено от задръствания по релсите на тавана.
Най-добри предложения: Разглеждаме Fabrico, Applied Materials (SmartFactory), KLA, Critical Manufacturing, Onto Innovation и Synopsys.
Производството на полупроводници е върхът на прецизността.
Управлението на фабрика за полупроводникови пластини е по-малко като управление на фабрика и по-скоро като дирижиране на симфония от физика и химия.
Оборудването - ASML скенери, ецващи машини Lam Research, инструменти за отлагане на Applied Materials, струва милиони долари.
OEE (Обща ефективност на оборудването) тук е от решаващо значение, но се изчислява по различен начин, отколкото в автомобилен завод.
Наличност: Работи ли инструментът? (И работи ли вакуумната помпа?)
Производителност: Достига ли целта „Вафли на час“ (WPH)?
Качество: Достатъчно висок ли е добивът, за да се изплати инструментът?
Стандартният софтуер за обща ефективност (OEE) не може да се справи със сложността на реципрочните потоци (пластовете посещават един и същ инструмент 20 пъти) или протоколите за чисти помещения .
Ето 6-те най-добри софтуерни инструмента за управление на общата ефективност (OEE) и добивите (Yield Management), специално подходящи за фабрики за полупроводници.
Фабрико решава „Сляпото петно“ на съвременния Fab: Sub-Fab.
Докато скъпите технологични инструменти се наблюдават от усъвършенствана MES система, хилядите вакуумни помпи, системи за пречистване на емисиите и охладители в сутерена (Sub-Fab) често работят до повреда.
Ако вакуумна помпа блокира, инструментът за ецване в чистото помещение алармира, повреждайки пластината.
Fabrico гарантира надеждността на тези критични помощни средства.
Основни характеристики на полупроводниците:
Управление на активите на подфабриката: Проследява работните часове и вибрациите на помпите и охладителите, задействайки поддръжка, преди те да повлияят на инструментите в чистите помещения.
Съответствие с изискванията за чисти помещения: Цифрови контролни списъци за обличане, броене на частици и смяна на филтри. Гарантира, че дейностите по поддръжка не нарушават стандартите ISO клас 1.
Мониторинг на състоянието: Свързва се със сензори на системи за намаляване на опасните газове, за да се гарантира безопасност и непрекъсната работа.
Квалификация на инструмента: Управлява контролните списъци „Green-to-Run“ след почистване на камерата, като гарантира, че инструментът е наистина готов за производство.
Най-подходящо за: Фабрики, които трябва да предотвратят повреди на подфабрики, които биха могли да навредят на OEE на чистите помещения.
Applied Materials е операционната система на Fab.
Техният SmartFactory (преди APF/AutoMod) е индустриалният стандарт за диспечиране в реално време (RTD) .
В един Фаб, „Следващият ход“ е сложно изчисление. Кой лот отива в коя камера, за да се балансира линията?
Applied оптимизира производителността на OEE. Гарантира, че скъпите литографски инструменти никога не чакат за пластини. Управлява AMHS (автоматизирана система за обработка на материали), за да предотврати затруднения.
Най-подходящо за: Фабрики с голям обем, изискващи автоматизирани правила за диспечерска работа.
KLA е кралят на добива .
Техният софтуер не само следи дали машината работи; той следи какво прави машината с пластината.
Те интегрират данни от инструменти за инспекция, за да открият „убийствени дефекти“.
Ако OEE спадне поради „Качество“, KLA ви казва защо. Пример: „Плътността на дефектите се е увеличила в камера за ецване B след последното PM.“
Това е от съществено значение за анализа на първопричините за отклоненията в добива.
Най-подходящо за: Инженери по интеграция на процеси, борещи се с гъстотата на дефектите.
Критичното производство е съвременният претендент в MES пространството.
За разлика от остарелите системи, построени през 90-те години, тяхната платформа е готова за IoT и добавена реалност.
Те се справят без усилие със сложната генеалогия на производството на полупроводници (разделяне на партиди, сливане на партиди, преработка).
Техният OEE модул е визуално зашеметяващ и интегрира „Управление на експерименти“ (изпълнение на научноизследователски и развойни дейности заедно с производствени партиди), което е жизненоважно за фабриките, които постоянно разработват нови възли.
Най-подходящо за: Фабрики със смесен режим (НИРД + Производство), нуждаещи се от модерна и гъвкава MES (система за управление на производството).
Onto Innovation (формирана от Rudolph/Nanometrics) се фокусира върху метрологията .
За да изчислите качеството на OEE, трябва да измерите пластината. Дебелината, критичните размери (CD), наслагването.
Софтуерът на Onto обобщава тези метрологични данни, за да осигури „Управление на процесите“ (APC).
Той предоставя обратна връзка на инструментите за обработка, за да коригира автоматично рецептите (Run-to-Run Control). Това поддържа висок резултат за качество на OEE, като предотвратява отклонения.
Най-подходящо за: Литографски и ецващи модули, изискващи строг контрол на процеса.
Synopsys свързва проектирането на чипове с производствения етаж .
Техният софтуер търси „Систематични ограничители на добива“.
Понякога OEE е нисък не защото машината е повредена, а защото дизайнът на чипа е твърде труден за производство (недостатъчност на процеса).
Synopsys помага за ранното идентифициране на тези недостатъци в дизайна, подобрявайки „производимостта“ на продукта.
Най-добро за: IDM (производители на интегрирани устройства), които проектират и изграждат свои собствени чипове.
Кой слой от Fab се нуждае от помощ?
| Функция | Фабрико | Приложени материали | АОК | Критично производство | Върху | Синопсис |
| Зонален фокус | Подизработка и поддръжка | Диспечер (Мозъкът) | Дефекти (добив) | МЕС (Генеалогия) | Метрология (мярка) | Дизайн (DFM) |
| OEE драйвер | Надеждност на активите | Използване на инструмента | Намаляване на дефектите | Поток и проследяване | Контрол на процесите | Добив на дизайн |
| Връзка за поддръжка | Нативен (CMMS) | Ограничено | Няма | Модул | Няма | Няма |
| Инструмент за чисти помещения | Native (Протоколи) | Автоматизация | Инспекция | Проследимост | АПК | Няма |
| Потребител | Съоръжения и поддръжка | Индустриално инженерство | Доходност Инженер | Мениджър операции | Процесно инженерство | Дизайн Инженер |
В една фабрика за полупроводници, блясъкът е в чистата стая.
Но надеждността е в Sub-Fab.
Ако вашето предизвикателство е трафикът на вафли , имате нужда от Applied Materials .
Ако вашето предизвикателство са Убийствени дефекти , имате нужда от KLA .
Но ако предизвикателството ви е, че помпите, абсорбаторите и охладителите продължават да се повреждат , причинявайки непланиран престой на вашите инструменти за милиарди долари, Fabrico е единственият софтуер, посветен на осигуряването на механичната основа на Fab.
Вижте как Fabrico дигитализира поддръжката на помпи и активи за чисти помещения.
Вход
Блог
